優(yōu)點(diǎn)

· 最佳耐熱特性

· 優(yōu)異的抗化學(xué)特性

· 低Outgassing 特性

· 優(yōu)異之抗Plasma特性

缺點(diǎn)：

· 耐低溫特性較差

· 原料價(jià)格較高

· 生產(chǎn)難度較高 · 全氟系列產(chǎn)品廣泛地運(yùn)用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)及信息相關(guān)產(chǎn)業(yè)所運(yùn)用, 運(yùn)用范圍包含薄膜制程中之PVC, CVD及蝕刻制程及各種高真空密封制程。